钼靶
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太阳能电池主要包括晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池, PVD 工艺主要应用于薄膜太阳能电池中。晶体硅太阳能电池转化效率较高、性能稳定,且各个产业环节比较成熟,占据了太阳能电池市场的主导地位。与晶体硅太阳能电池相比,薄膜太阳能电池材料用量大大减少,从而大幅降低了制造成本和产品价格,同时,薄膜太阳能电池还具有制造温度低、应用范围大等特点。

CIGS薄膜太阳能电池,由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶薄膜太阳能电池,是组成电池板的关键技术。CIGS太阳能电池已是太阳能电池产品的明日之星,可以与传统的晶硅太阳能电池相抗衡。
主要靶材:硅靶、钛靶、铜靶、镍铜靶、氧化铌靶、氧化锌铝靶、氧化铟锡靶。
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